蔡司公开站队DUV：美国制裁错了

早在2025年9月，德国蔡司SMT部门一句公开表态，放在今天的国际半导体格局下，尤为扎眼——

德国蔡司SMT部门指出：“蔡司是全球先进光刻机业务的独家镜头供应商，对于光刻机产业来说，DUV技术的重要性要远大于EUV技术。即便是采用EUV光刻机制造先进芯片，其芯片当中的大多数IC关键层也是基于DUV技术制造出来的。”

德国蔡司这句话，非常隐晦的说出了，美国的制裁错误之处，即逼着中国放弃了顶层最先进的EUV，转而用DUV全力抢占芯片产业的核心基础力量，结果，中国成了“成熟芯片”这个更大市场的赢家。

简言之，中国虽然放弃了追逐塔尖的尖端科技，但是却筑牢了半导体的地基，当地基筑牢，就有足够的时间与力量慢慢向塔尖攀爬。

根据蔡司官方数据，目前全世界80%的微电子芯片，都是用它和阿斯麦合作的光刻机造的。这其中有95%的芯片是由DUV光刻机进行制造，DUV是支撑整个产业运转的基础设施。

中国拥有DUV，等于满足了自己90%的需求，甚至最先进的3nm、2nm芯片，其中大多数IC关键层依然要回到DUV工艺上完成。

蔡司这番话的言外之意是，美国的半导体制裁，正在反噬整个西方半导体产业链，蔡司作为链条上最隐蔽但也最关键的一环，已经感受到了切肤之痛。

美国为何一开始制裁EUV不制裁DUV？

回顾时间线，2018年中芯国际花1.5亿美元订购ASML的EUV光刻机，这笔钱相当于中芯当年全年净利润。

随后美国施压荷兰政府撤销出口许可，这台设备至今没能交付。美国的逻辑很清楚：掐断EUV，就等于锁死中国进入先进制程的大门。

放在美国人的做事逻辑这好理解，美国向来是把最核心、最尖端的技术、利润最高的那一层蛋糕握在手里，不让别人侵蚀它这一层的利益，至于中低端的市场，美国并没有那么在意。

而美国对EUV更加在意，还有另一层因素——EUV才是美国亲儿子。EUV这技术，1997年起源于美国政府牵头的EUVLLC联盟。这联盟里全是美国的自己人：英特尔、IBM、AMD，外加劳伦斯利弗莫尔等三大国家实验室。

ASML能成为整机生产与组装的主力，是因为做出了“多项让步”，包括在美国建立工厂和研发基地。直到今天，阿斯麦的EUV光刻机里，美国零部件必须占比55%以上。

这也就意味着，EUV光刻机，美国可以100%掌控，而DUV的关键技术——浸润式（湿法）光刻，就不是美国人搞出来的技术。

那是2002年，前台积电工程师林本坚提出来的方案，要知道，浸润式的上一代技术是干式技术，而干式光刻机的老大还是日本尼康，当时干式光刻机的镜头分辨率受芯片上方空气空间的限制，无法进一步缩短，已经接近于设备的物理极限，台积电林本坚向尼康提出颠覆性设想：在镜头与晶圆之间注入水，借助水的高折射率，一举可突破当时被视为天堑的光源极限。

而当时尼康拒绝了林本坚的方案，林本坚于是找到ASML，ASML采纳了这种方案并制造出全球第一台以水为介质的浸润式光刻机，采用193nm波长，但等效于134nm，马上投入台积电的生产线，效果非常好，ASML浸没式光刻机横扫全球，尼康光刻机的半壁江山被ASML直接拿走。

而彼时阿斯麦DUV光刻机的镜片则是由德国蔡司独家定制，美国控制力没那么强。

也因为如此，美国制裁为何一开始针对EUV光刻机，如果全禁了，ASML也不会同意，因为本身DUV光刻机的研发是ASML与台积电双方促成的，跟美国关系不大，荷兰政府迫于美国的压力，不再向中国出售EUV光刻机，但是DUV设备还可以继续交付。

尽管美国对ASML步步紧逼，但ASML多次声称荷兰不会一比一照搬美国措施，多次表态努力减少出口限制造成的影响。在NXT:2000i及以上浸润式设备的出口被限制之前，ASML也紧急向美申请了4个月的限制豁免期，放行DUV光刻设备，对我方加紧出货。

2024年9月加紧了出口许可规定，对NXT1980Di之后的DUV设备实行逐案审批，不过老款和中低端机型还是能照卖不误。

所以中国企业在2022年和2025年，向ASML采购了大量的光刻机和制造耗材，提前囤积设备，尽可能保证国内芯片的产能效应。

那两年ASML的财报清楚地显示，中国大陆客户的订单占比一路飙升，巅峰时接近总营收的一半。中国企业的逻辑非常务实——你不让我做7nm以下的先进芯片，那我就用DUV把成熟芯片的产能做到全球第一。

DUV构建了半导体的塔身和塔基。比如在汽车行业，一辆车里，真正需要“先进芯片”的只有“车机芯片和智驾芯片”，车上的控制器、MCU、传感器、功率芯片等产品，均是成熟制程的芯片。

此外，工厂里的PLC和变频器芯片，空调、冰箱、洗衣机里的主控IC等全部用成熟制程芯片，包括28nm、40nm、65nm、甚至180nm。

而拥有DUV，中国就能保证了绝大多数领域的芯片应用场景不被波及。根据美国半导体行业协会（SIA）的数据，中国大陆地区在28nm及以上成熟芯片的全球产能占比已经达到33%。

中芯国际、华虹集团、合肥晶合、长鑫存储等企业这几年几乎同步在扩产，据不完全统计，2022年至2025年间中国大陆有超过30座晶圆厂在建设或产能爬坡中，绝大部分瞄准的就是成熟制程。

DUV比EUV重要，德国蔡司的表态背后，封锁DUV已经迟了

在德国蔡司看来，美国制裁政策的失误，在于封锁EUV本身，却低估了DUV才是支撑起半导体需求的塔基，全球芯片市场不是只有手机SoC和AI加速器，那只是金字塔最顶端的一小撮。

而综上来看，德国蔡司没有说到的是，美国一开始封锁EUV而不封锁DUV，原本也是因为DUV技术主导权也不在美国这边，如果一开始就把DUV全部封锁，必然引发荷兰与中方的应激反应，这等于一上来就要砸荷兰的饭碗。

而如果是这样，也将可能更早逼中国使出稀土反制的杀招，因为光刻机的生产制造本身离不开稀土，既然桌子都掀了，要砸掉中国的半导体饭碗，那么芯片就谁也别想造了。

也就是说，美国原本也是精确计算过这层利益，没有一开始把路堵死，因为即便是美国自己，也有大量的美国产品都在使用中国的成熟制程芯片！而且美国也低估了中国芯片产业的发展速度。

在今天，中国企业在国际层面已占据成熟芯片的大量市场份额，已经在“深度融入全球的半导体产业链”，海外企业对中国产品的依赖性也越来越高。

在今天，美国终于使出杀招了，以前美国主要禁最顶尖的EUV光刻机，现在直接扩大到所有DUV浸没式光刻机，要求荷兰等盟友在150天内实施同等禁令。

但在今天，封锁DUV已没太大意义，这不仅是因为中国本土半导体产业链力量的突破，也在于中国手里拥有的DUV光刻机存量，足够支撑中国5~10年的需求，即便一台不买，也已经够用，而且中国本土国产光刻机研发在加速，5~10年的时间已足够中国研发出本土的浸润式光刻机，美国今天把DUV纳入到出口管制范围，其实已经迟了。

蔡司那句＂DUV比EUV重要＂这个表态，背后的意思是现在封锁DUV也已经迟了，欧洲企业对美制裁政策的不满已从私下游说走向了公开表态。对于蔡司而言，DUV设备的全球存量远大于EUV，它是全球唯一能制造符合光刻机要求的高精度镜头组件的企业，DUV和EUV的镜头它都做。维护、升级、镜头更换的持续性收入才是蔡司SMT部门的利润基本盘。

它已经失去了中国的EUV光刻机镜头组件订单，中国市场是全球DUV设备增量最大的市场——蔡司当然不希望DUV也被卷入制裁。

在今天，蔡司的那句“DUV比EUV重要”，已把这场半导体博弈的格局走向说得很清楚了：封锁EUV拖慢了中国在先进制程上的进度，但却在成熟芯片领域催生出了一个超级产能竞争者，并把中国这个全球最大的半导体市场推向了坚定自主化的方向，形势的演变走势，早已不是美国设想的那个剧本了。