“中国刻蚀机之父”放弃美国籍 为办税务拟套现近1亿

1月8日，半导体龙头中微公司（688012）公告称，巽鑫（上海）投资有限公司持有公司6847.39万股股份，占总股本的10.94%，计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价或大宗交易方式减持不超过1252.29万股，即不超过公司总股本的2%，减持原因为自身经营管理需要。

另外，被誉为“中国刻蚀机之父”的中微公司创始人、董事长、总经理尹志尧计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价方式减持公司股份不超过29万股，占公司总股本比例不超过0.046%。拟减持原因为：“因本人已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务的需要。”

截至1月9日收盘，中微公司股价报336.68元/股，总市值为2108亿元。尹志尧拟减持股票市值约为9764万元。



公开资料显示，尹志尧，1944年生，中国国籍，中国科学技术大学学士，加州大学洛杉矶分校博士。1984年至1986年，就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官；2004年至今，担任中微公司董事长、总经理、核心技术人员。2024年从公司获得的税前报酬总额为1485.14万元。



尹志尧，视频截图

中微公司2022年年报中仍明确标注尹志尧为美国公民；其2023年年报未披露国籍信息；直至2024年其年报正式确认已恢复中国国籍。

据红网2018年的一篇报道，1944年，尹志尧出生在北平一个爱国世家。中学就读于久负盛名的北京四中，本科毕业于天才云集的中科大。大学毕业后，尹志尧在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。1978年，“不安分”的他选择继续深造，考入北京大学化学系。1980年，他获北大化学系硕士学位，后在亲戚帮助下，到加州大学洛杉矶分校攻读博士学位。仅仅三年半，他就拿到物理化学博士学位。

据媒体此前报道，2004年，时任上海市经委副主任、曾推动中芯国际落地上海的江上舟，正为国产等离子刻蚀机的市场空白发愁。

那一年的上海世界半导体设备展上，尹志尧以应用材料公司副总裁、刻蚀产品事业部总经理的身份参展，与江上舟不期而遇。

彼时江上舟已罹患肺癌，仍系心国内刻蚀机的自主研发，多番动员尹志尧回国创业。对尹志尧高龄回国的踌躇，江上舟豪言：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出这半条命，也想为国家造出光刻机、等离子刻蚀机，我们一起干吧！”

这一席话，坚定了尹志尧的创业决心。随后经尹志尧游说，麦仕义等十余位硅谷人才一同归国，决意“瞄准”中国芯片刻蚀设备领域的空白。

3年后，从零起步的中微公司研发出了首台刻蚀设备、薄膜设备，并成功运往国内客户，为产业需求提供优质高效和低成本的解决方案。

据上海证券报报道，近十年间，尹志尧带领团队持续突破技术壁垒，半导体设备领域的全国首台套捷报频传：2015年，率先提出“皮米级”加工精度概念，开发出世界先进水平的CCP和ICP等离子体刻蚀设备；2018年，自主知识产权刻蚀机进入客户5纳米产线；2010年—2025年，推动开发了MOCVD\LPCVD\ALD\EPI\PEVCD一系列国际领先的薄膜设备；2025年，ICP双反应台刻蚀机精度达0.1nm（纳米），技术达到全球先进水平。

中微公司最新披露的三季报显示，2025年前三季度，公司保持强劲发展势头，实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；实现归属于上市公司股东净利润12.11亿元，同比增长32.66%。

中微公司表示，根据规划，未来五到十年，其对集成电路关键设备领域的覆盖度将提升至60%，将携手行业上下游的合作伙伴，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司。